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哈尔滨工业大学(深圳)洁净间配套设备意向公开
信息来源: ******[查看]
|地区:广东
|类型:采购公告
基本信息
信息类型:采购公告
区域:广东
源发布时间:2025-03-27
招标单位:******[查看]
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******大学(深圳)洁净间配套设备意向公开
采购单位:******大学(深圳)
项目名称:洁净间配套设备
预算金额(元):5,449,000.000
采购品目:科研用房
采购需求概况:采购半导体加工平台所需的洁净间配套设备,包括:氢气(9N)、氩气(9N)、氨氢混合气纯化器;尾气处理器3台;特殊气体输送管道;尾排和排风管道;给排水管道;大型设备移位和电缆接入;工艺优化临时场地洁净间排风系统、FFU、板材等。供应气体种类:高纯氢气、高纯氮气、高纯氩气、高纯氨氢混合气、普通氮气、硅烷、乙炔、三氯硅烷、HCl、三甲基铝、压缩空气、氧气、BF3、PF3、F2、SF6、CH4、C2H6、氯气、HBr等。支持氢气流速不低于150slm、氩气流速不低于80slm、普通氮气流速不低于50slm、高纯氮气流速不低于20slm、TCS流速不低于20slm。尾气处理系统可处理有机气体、氨气、固体颗粒等。供水管道可供应电阻不低于5MΩ的去离子水,接入设备口流速不低于50L/min。
联系人:简老师
联系电话:******
预计采购时间:2025-05
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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快照:2025-03-27
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